气体管路材质
由10、20、09MnV和16Mn钢制造，适用于输送流体的一般无缝钢管，其外径及壁厚允许偏差不得超过表3.2.6的规定。有耐晶间腐蚀要求的钢管，产品质量证明书上应注明晶间腐蚀试验结果，否则应按《不锈耐酸钢晶间腐蚀倾向试验方法》GB4334.1～9中的有关规定，进行补项试验。
气体管道焊接
采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。最后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。
特殊气体管路施工流程
其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收
特殊气体管路施工队伍人员资质
特殊气体管路施工队伍人员资质审查要严格：因转包现象难以绝对避免，有的施工队伍中，没有严格的制约力的组织体系，有部分人员存在着无证上岗现象。同时，即使是专业队伍，也存在着人员流动更替、技术更新等原因，使职工专业技术素质低下的现象突出。特别是管道安装中特种作业的比例较大，必须对施工队伍人员资质严格控制审查。
阀门管件
配件、阀门一般采用hoke、swagelok或类似品牌的产品。提供气体倒回控制器。所有管路标明链接的气体。所有管路能在所处环境下正常使用。
施工现场的准备
施工现场在施工前应达到三通(道路通、通电、通水)一平(场地平整)。应按施工平面布置图堆放材料、摆放施工机具，合理布置管道预制、临时设施等场地。